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前驱体源瓶

概要信息:

工作压力：0.8Mpa｜工作温度：0 ～ 150℃

基本信息

详细介绍

产品介绍

前驱体源瓶用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求。

主要部件材料

阀体 316L /316L（VIM+VAR）
瓶体 316L

工作条件

工作压力 0.8Mpa

内漏率 ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

外漏率 ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

工作温度 0 ～ 150℃

内表面粗糙度 Ra ≤ 0.2μm

产品特点

超纯物料类的封装

涉及微正压、常压、中低压

产品参数