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手动真空波纹管角阀系列

概要信息:
内表面粗糙度:Ra ≤ 0.13μm|工作温度:-10 ~ 80℃
基本信息
没有此类产品
详细介绍

 

产品介绍
 
 
手动真空波纹管角阀采用316L波纹管并结合洁净工艺处理,使阀门在使用过程中减少颗粒物的产生,非常适用于半导体行业或研究环境。它主要用于规格仪表或系统隔离,同时也推荐作为通气、旁路或粗抽阀使用。
 
 
主要部件材料

 

阀体                       316L /316L(VIM+VAR)
密封圈                    FKM
波纹管                    316L

手柄                       6061

 

工作条件

 

真空压力等级         0.1Mpa-1x10 -9 pa
漏率                      ≤ 1×10
-10 Pa.m3 /sec.He

CV值                       1.0/1.5/2.2

工作温度                -10 ~ 80℃

内表面粗糙度          Ra ≤ 0.13μm

 

产品特点

 

 

 

采用 316L 波纹管并结合洁净工艺处理
产品参数