版权所有 © 中科艾尔(北京)科技有限公司

京ICP备18059648号-1       网站建设:中企动力 北京

QPV(H)高速隔膜阀

概要信息:
工作压力:真空至145psig|流量系数:0.27/0.62|工作温度:0 ~ 70℃,0 ~200℃(高温型)
基本信息
没有此类产品
详细介绍
产品介绍 

 

QPH(H) 系列高速隔膜阀,膜片式硬密封,超低漏率,长寿命,快速响应,可选耐高温;适用于原子层沉积(ALD)系统,主要用于集成电路晶圆生产的环节。超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体

 

主要部件材料

 

阀体                       316L (VIM+VAR)
膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫                   PFA

 

工作条件

 

工作压力                真空至145psig
流量系数                0.27/0.62
工作温度                0 ~ 70℃,0 ~200℃(高温型)
内漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度         Ra≤0.13μm

 

产品特点

 

快速响应下的超长使用寿命
耐高温执行器
每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试
可选的模块化表面安装、卡套管对焊和UCR® 端接
产品参数