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DVH系列隔膜阀
基本信息
产品介绍
DVH 系列隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。
主要部件材料
阀体 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PCTFE
阀体 6063
工作条件
工作压力 真空至 300psig
爆破压力 3000psig
流量系数 0.5
工作温度 -10 ～ 70℃
内漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.1μm
产品特点
适合超高纯度气体应用
手柄带开关状态指示窗口
手柄可旋转角度为 180° ( 可选 90° )
手柄通过提拉后方可旋转开启，操作安全
每台阀门进行单独的氦质谱检测
超长使用寿命（50 万次实验值）
可选配防误操作 -LOTO
产品参数